热氧化工艺的基本设备有三种（）、（）和（）。

题库:集成电路技术 类型:填空题 时间:2017-06-23 18:42:57 免费下载:《集成电路工艺原理》Word试卷

热氧化工艺的基本设备有三种（）、（）和（）。

本题关键词:有氧氧化,吸氧设备,供氧设备,特种设备,糖有氧氧化,加热设备,供热设备,换热设备,热力设备,特种设备监察工作;