缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。

题库:集成电路技术 类型:填空题 时间:2017-06-23 18:42:57 免费下载:《集成电路工艺原理》Word试卷

缩略语PECVD、LPCVD、HDPCVD和APCVD的中文名称分别是（）、（）、高密度等离子体化学气相淀积和（）。

本题关键词:体积密度,饱和密度,密度梯度离心分离法,天然密度体积,等密度梯度离心法,连续密度梯度离心分离,气体相对湿度,Ficoll等密度梯度离心法,高电子密度,理气和中;