用于热工艺的立式炉的主要控制系统分为五部分（）、（）、气体分配系统、尾气系统和（）。

题库:集成电路技术 类型:填空题 时间:2017-06-23 18:42:57 免费下载:《集成电路工艺原理》Word试卷

用于热工艺的立式炉的主要控制系统分为五部分（）、（）、气体分配系统、尾气系统和（）。

本题关键词:分配系统,空气分段系统,燃气输配系统,气分配系数,系统控制,公用燃气输配系统,分析系统,系统分区,多联分体系统,分体式空调机系统;