Si3N4材料在半导体工艺中能否用作层间介质，为什么？请举两例说明Si3N4在集成电路工艺中的应用。

题库:集成电路技术 类型:简答题 时间:2017-06-23 18:42:57 免费下载:《集成电路工艺原理》Word试卷

Si3N4材料在半导体工艺中能否用作层间介质，为什么？请举两例说明Si3N4在集成电路工艺中的应用。

本题关键词:钢材工艺性能,生产工艺用水,工艺指导书,饮用水净化工艺,深层搅拌工艺,气中介作用,工程材料质量证明资料,砌砖操作工艺,工程用材,集中力偶作用;