采用提拉法（CZ法，切克劳斯基法）和区熔法制备的硅片，哪种方法质量更高，为什么？那么目前8英寸以上的硅片，经常选择哪种方式制备，为什么？

题库:集成电路技术 类型:简答题 时间:2017-06-23 18:42:57 免费下载:《集成电路工艺原理》Word试卷

采用提拉法（CZ法，切克劳斯基法）和区熔法制备的硅片，哪种方法质量更高，为什么？那么目前8英寸以上的硅片，经常选择哪种方式制备，为什么？

本题关键词:方法选择,抗血清制备方法,硅管法,控制风量方法,编制方法,目标控制方法,项目法人筹备方,对象选择方法,检验方法选择,教学方法选择;