与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。

题库:集成电路技术 类型:判断题 时间:2017-06-23 18:42:57 免费下载:《集成电路工艺原理》Word试卷

与干法刻蚀相比，湿法腐蚀的好处在于对下层材料具有高的选择比，对器件不会带来等离子体损伤，并且设备简单。

本题关键词:防腐蚀方法,腐蚀提脓法,相对比,腐蚀,相对指标比较法,方法比对,涂料防腐蚀,耐腐蚀涂料,腐蚀性气体,对比审查法;