离子注入后为何退火？

题库:集成电路技术 类型:简答题 时间:2017-06-23 18:42:58 免费下载:《集成电路技术综合练习》Word试卷

离子注入后为何退火？

本题关键词:离子导入仪,中药离子导入法,直流电离子导入,完全退火,离子,子火,后退向下,退行性行为,Mg离子,磷离子;