什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？

题库:集成电路技术 类型:简答题 时间:2017-06-23 18:42:58 免费下载:《集成电路技术综合练习》Word试卷

什么是干法刻蚀？干法有几种刻蚀方法？

本题关键词:防腐蚀方法,腐蚀提脓法,干法制粒法,主干法,干热法,干胶法,干烤法,干燥法,干馏法,干挂法;