光刻的作用是什么？

题库:集成电路技术 类型:简答题 时间:2017-06-23 18:42:58 免费下载:《集成电路技术综合练习》Word试卷

光刻的作用是什么？

本题关键词:光敏作用,光化作用,眩光作用,荧光作用,感光作用,激光/脉冲光工作站,作用,刻板性,光通利用率,副作用;